介绍：美国康宁7980、7979是高纯度合成熔融石英（纯 SiO₂非晶玻璃），超低膨胀、高均匀性、低双折射、抗热震、耐酸碱腐蚀，可加工大尺寸高精度抛光晶圆。
应用：半导体光刻掩膜基板、深紫外光学窗口、UV 检测载片、激光器件衬底、微流控光学基底、精密镀膜基板
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石英玻璃晶圆基板
国产牌号
熔融石英，国产JGS1、JGS2、JGS3；高硼硅玻璃，国产BF33；长飞石英YS-1330等
进口牌号
德国肖特BF33，美国康宁7980，日本小原SK-1300等
直径
25.4mm
50.8 mm
100mm
150mm
200mm
300mm
厚度（超薄厚度）
150μm/500μm
100μm/500μm
200μm/500μm/ 725μm/1000μm
200μm/725μm/1000μm
300μm/725μm/1000μm
表面粗糙度
Double Sides Polished, Ra＜ 1.0nm
定位-平边
8mm
16mm
30mm
47.5mm
/
定位-Notch
Semi-Notch
表面光洁度
S/D 60/40, S/D 40/20
边缘去除
≤ 2mm
面型
TTV＜ 2μm
机械参数（美国康宁）
弹性（杨氏模量)
73 GPa
剪切模量
31 GPa
泊松比
0.16
磨损或磨蚀后的断裂模量
52.4 GPa
体积模量
35.9 GPa
密度
2.20 g/cm3
克努普硬度（100克负载）
522 kg/mm2
拉伸强度
54 MPa
抗压强度
1.14 GPa
PS：所有数值均为25℃时的值
热参数（美国康宁）7980
软化点
1585℃
退火点
1042℃
应变点
893℃
导热性
1.38 W/m.k
0.770 J/ g.K
热扩散率
0.0075 cm2/S
热膨胀（ppm/C)
0.48-0.57E-6（-100℃ to +200℃）
光学参数（美国康宁）
nF1-nC1
0.006797
应力系数
35.0 nm/cm Mpa
阿贝常数:Ve
67.6
阿贝常数:Vd
67.8MPa
宽光谱内部透射率
紫外线内部透射率
