介绍：长飞石英YS-1330是低羟基合成石英，它的优势是3D无条纹、 低弱吸收系数、高损伤阈值、高光学均匀性、高透过率
应用：强激光、半导体量测、半导体精密光学等
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石英玻璃晶圆基板
国产牌号
熔融石英，国产JGS1、JGS2、JGS3；高硼硅玻璃，国产BF33；长飞石英YS-1330等
进口牌号
德国肖特BF33，美国康宁7980，日本小原SK-1300等
直径
25.4mm
50.8 mm
100mm
150mm
200mm
300mm
厚度（超薄厚度）
150μm/500μm
100μm/500μm
200μm/500μm/ 725μm/1000μm
200μm/725μm/1000μm
300μm/725μm/1000μm
表面粗糙度
Double Sides Polished, Ra＜ 1.0nm
定位-平边
8mm
16mm
30mm
47.5mm
/
定位-Notch
Semi-Notch
表面光洁度
S/D 60/40, S/D 40/20
边缘去除
≤ 2mm
面型
TTV＜ 2μm
