介绍：来自德国的BOROFLOAT°33是世界上第一个浮法的硼硅酸盐平板玻璃，其卓越的质量和平整度与出色的热学、光学、化学和机械特性完美结合。
应用：MEMS 传感器、微流控芯片、生物检测载片、实验室光学窗口等。
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石英玻璃晶圆基板
国产牌号
熔融石英，国产JGS1、JGS2、JGS3；高硼硅玻璃，国产BF33；长飞石英YS-1330等
进口牌号
德国肖特BF33，美国康宁7980，日本小原SK-1300等
直径
25.4mm
50.8 mm
100mm
150mm
200mm
300mm
厚度（超薄厚度）
150μm/500μm
100μm/500μm
200μm/500μm/ 725μm/1000μm
200μm/725μm/1000μm
300μm/725μm/1000μm
表面粗糙度
Double Sides Polished, Ra＜ 1.0nm
定位-平边
8mm
16mm
30mm
47.5mm
/
定位-Notch
Semi-Notch
表面光洁度
S/D 60/40, S/D 40/20
边缘去除
≤ 2mm
面型
TTV＜ 2μm
德国肖特BF33光学参数 *对色散曲线进行外推得出的值
n248.3*
n296.7
ni
ng
nf*
ne
nd
n632.8
nc*
ns
nt
n1529.6
λ
248.3
296.7
365
435.8
480
546.1
587.6
632.8
643.8
852.1
1014
1529.6
n
1.525
1.504
1.489
1.48
1.477
1.473
1.471
1.47
1.465
1.463
1.456
阿贝值(Ve=(ne-1）/（nF,-NC,))
65.41
折射率（nd)
色散（nF-nC)
71.4x10E-4
应力光弹系数（K）
4.0x10E-6 mm2 N-1
BOROFLOAT33-折射率曲线
BOROFLOAT33-透过率曲线
