介绍：JSG1、JGS2、JGS3均为熔融石英;
JGS1 远紫外合成石英（深紫外专用），无气泡无杂质均匀性好；
JGS2 普通紫外晶体石英（通用经济型），性价比最高；
JGS3 红外真空熔融石英（红外专用）
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石英玻璃晶圆基板
国产牌号
熔融石英，国产JGS1、JGS2、JGS3；高硼硅玻璃，国产BF33；长飞石英YS-1330等
进口牌号
德国肖特BF33，美国康宁7980，日本小原SK-1300等
直径
25.4mm
50.8 mm
100mm
150mm
200mm
300mm
厚度（超薄厚度）
150μm/500μm
100μm/500μm
200μm/500μm/ 725μm/1000μm
200μm/725μm/1000μm
300μm/725μm/1000μm
表面粗糙度
Double Sides Polished, Ra＜ 1.0nm
定位-平边
8mm
16mm
30mm
47.5mm
/
定位-Notch
Semi-Notch
表面光洁度
S/D 60/40, S/D 40/20
边缘去除
≤ 2mm
面型
TTV＜ 2μm
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光学参数对比
材料型号
石英 JGS1
石英 JGS2
石英JGS3
射透范围
0.17~2.10μm，
0.26~2.10μm，
0.185~3.50μm
平均透过率＞90%
平均透过率＞85%
OH-含量
1200ppm
150ppm
5ppm
荧光（激发波长254nm)
几乎无荧光
强V-B
杂质含量
20-40ppm
40-50ppm
双折射常数
2-4nm/cm
4-6nm/cm
4-10nm/cm
熔融方法
合成CVD
氢氧熔融
电气熔融
主要应用
紫外光刻、紫外光谱仪、紫外显微镜、深紫外窗口等
半导体和高温窗口镜；常规紫外-可见实验、光学基底等
傅里叶红外 FTIR、红外测温窗口、热成像、红外传感器等
JGS1透过率曲线
JGS2透过率曲线
JGS3透过率曲线
