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解锁光学未来:为什么 JGS2 是理想的光学与衬底材料?

在先进光学系统、激光技术以及半导体加工中,材料的选择对性能、可靠性和使用寿命至关重要。JGS2 石英是一种高纯度熔融石英玻璃,具有优异的光学透明性、热稳定性和化学耐受性,因此成为在紫外(UV)、可见光和近红外(NIR)波段运行的光学元件和衬底的首选材料之一。
本文将探讨 JGS2 石英的技术特性及其在各类高精密行业中的应用。

1. JGS2 石英概述

JGS2 石英是一种火焰熔融的合成熔融石英,以低杂质含量、高内部均匀性和极低双折射著称。它是光学工程、半导体加工和光子器件中的可靠基础材料。
在工业中,JGS2 常被加工为:

光学窗口和透镜

半导体加工的载体衬底

高纯度晶圆与抛光光学衬底

作为熔融石英的几个等级(如 JGS1 和 JGS3)之一,JGS2 在紫外性能与成本之间取得了优良的平衡,适用于需要良好紫外和可见光透过的通用型应用。

2. 光学性能

JGS2 在近紫外到近红外区域表现出优异的透光性。虽然不适合深紫外(<190 nm),但在常规 UV-可见光光学系统中表现出色。

3. 热学与机械性能

这些特性使 JGS2 能够承受高温和高真空环境,非常适合激光系统和半导体制造等苛刻应用场景。

4. 典型应用

激光光学
用于紫外到近红外激光系统中的光学窗口、透镜和分束器。其优异的热学和光学性能确保在脉冲和连续激光系统中均能实现长期稳定性能。

光谱学与精密成像
凭借宽透射范围和极低失真,JGS2 广泛用于光谱仪、干涉仪和紫外成像系统。

半导体加工
基于 JGS2 的抛光石英衬底广泛应用于光刻、真空沉积和晶圆级加工。其高纯度和热稳定性非常适合洁净室环境和关键工艺环节。

5. 与其他石英等级的比较

JGS1 最适合深紫外系统;JGS2 在保持强紫外-可见透射的同时成本更易接受,因此在通用光学与电子应用中更具优势。

6. 结论

JGS2 石英玻璃为跨行业的光学元件和衬底材料提供了一种高性能、成本适中的解决方案。其宽光谱透射能力、优异的耐热性与高纯度,使其在激光光学、精密成像和半导体加工中成为值得信赖的材料。
无论被加工为晶圆、透镜,还是结构载体,JGS2 都能以可靠且可重复的性能,持续支持光学与微电子技术的发展。

 

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