从光刻到激光：为什么 JGS1 是深紫外应用的首选？

在现代精密光学与半导体制造领域，对具备卓越纯度、宽光谱透过率和热稳定性的光学材料需求日益增长。JGS1 石英玻璃是一种通过火焰熔融工艺制备的高纯度合成熔融石英，专门为深紫外（DUV）应用而设计。凭借其在 200 nm 以下的出色透射性能，JGS1 广泛应用于高端激光系统、光刻技术和紫外分析仪器，成为深紫外光学系统中的基础性材料。

1. 概述

JGS1 石英是一种采用火焰熔融工艺制造的高纯度合成熔融石英，具有极低的金属杂质水平、卓越的光学均匀性以及优异的深紫外透过性能。与标准熔融石英材料相比，JGS1 在 185–2500 nm 波段表现出更优异的性能，特别是在深紫外区域（190–250 nm），标准材料往往表现不佳。
因此，JGS1 被视为高精度光学元件的首选材料，包括光掩模衬底、深紫外激光窗口以及各类紫外级光学器件。

2. 关键特性

光学性能

热学与机械性能

3. 与其他熔融石英等级的比较

在 JGS 系列中，JGS1 是唯一能在深紫外（<200 nm）波段保持高透过的等级。以下表格对比了 JGS1、JGS2 和 JGS3：

4. 典型应用

深紫外激光系统
在 193 nm（ArF）和 248 nm（KrF）波长下具有出色透射率，使 JGS1 成为深紫外激光系统中光学元件的理想材料。凭借其热稳定性和光学可靠性，适用于工业激光加工与科学仪器。

光刻用光掩模衬底
在半导体制造中，深紫外光刻需要吸收率极低、双折射小且热稳定性高的衬底。由于其超低杂质含量和卓越光学透明度，JGS1 成为光掩模基板与光罩衬底的领先选择。

光谱学与分析仪器
JGS1 在 UV 至 NIR 的全波段透射能力，使其广泛应用于 UV/VIS/NIR 光谱仪、荧光检测、微量化学分析和环境监测，兼具高灵敏度和低背景噪声。

真空紫外窗口
凭借化学纯度高、短波紫外吸收低，JGS1 适合作为真空紫外（VUV）系统中的透射或观测窗口，例如同步辐射光束线和等离子体腔体。

5. 加工能力与产品形式

JGS1 石英玻璃可根据需求定制加工为多种光学和结构元件，包括：

精密抛光光学窗口

光掩模衬底

紫外级透镜和棱镜

高纯度载体衬底

光学或半导体用熔融石英晶圆

根据具体应用需求，可提供不同尺寸、厚度公差、平整度（如 λ/10）及表面质量（如 10-5 划痕/麻点）的产品。

6. 结论

随着深紫外技术的不断发展，光学材料需满足日益严格的性能要求。JGS1 石英玻璃凭借无可匹敌的紫外透过率、高热稳定性和卓越光学精度，成为光子学、半导体和激光等先进应用中不可或缺的材料。
无论是在光刻系统、深紫外激光光学、紫外光谱学，还是科学研究领域，JGS1 都能提供可靠且可重复的性能，使其成为深紫外光谱中关键应用的首选材料。

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