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A-R-M特殊晶向衬底

介绍化学式(α-Al2O3),为六方晶格结构。化学性质非常稳定,不溶于水,耐强酸、强碱的腐蚀。莫氏硬度9级,熔点为2050℃,沸点3500℃,最高工作温度可达1900℃。透光性好,热传导性和电气绝缘性,力学机械性能表现优秀,具有耐磨和抗划伤的特点。

应用:高效LED(减少极化效应,提高发光效率)、高性能激光二极管(降低阈值电流,提高输出功率)

产品规格书

蓝宝石A-M-R向单晶衬底(2~6英寸)

材料成分

>99.99%,High Purity, Mono-crystalline Al2O3 (KY)

端面晶向

A-plane (11-20) ± 0.1°

R-plane (1-102) ± 0.1°

M-plane (1-100) ± 0.1°

直径

50.8mm

100mm

150mm

50.8mm

100mm

150mm

50.8mm

100mm

150mm

厚度

430um

650um

1000um

430um

650um

1000um

430um

650um

1000um

定位边晶向

M-plane ± 0.3°

Counter clockwise 45 from C-axis

A-plane ± 0.3°

定位边长度

16mm

30mm

47.5mm

16mm

30mm

47.5mm

16mm

30mm

47.5mm

正面状态

Epi-polished,Ra<0.3nm

反面状态

SSP:Fine-ground,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-polished,Ra<0.3nm

总厚度偏差TTV

<10 um

<20 um

<25 um

<10 um

<20 um

<25 um

<10 um

<20 um

<25 um

弯曲度BOW

-15~0 um

-25~0 um

-35~0 um

-15~0 um

-25~0 um

-35~0 um

-15~0 um

-25~0 um

-35~0 um

翘曲度WARP

<15 um

<30 um

<40 um

<15 um

<30 um

<40 um

<15 um

<25 um

<40 um

边缘去除

≤2 mm


产品性能表

蓝宝石单晶 Sapphire

晶体结构

六方晶体

禁带宽度(eV)

/

熔点(℃)

2040℃

莫氏硬度(mohs)

9

热导率(W·cm-1·℃-1)

0.46W·cm-1·℃-1

热膨胀系数(℃-1)

6.7*10-6 // C-axis
5.0*10-6 ⊥C-axis

晶格常数(nm)

a=4.76Å c=12.99Å

折射率

1.762~1.777

透过率

测试样品:蓝宝石:直径76.2毫米×厚度4毫米
紫外线:波长200至380纳米,透过率74%至84%
可见光:波长380至760纳米,透过率85%
红外线:波长760至1000纳米,透过率85%
远红外线:波长大于1000纳米,透过率80%至100%

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