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介绍:化学式(α-Al2O3),为六方晶格结构。化学性质非常稳定,不溶于水,耐强酸、强碱的腐蚀。莫氏硬度9级,熔点为2050℃,沸点3500℃,最高工作温度可达1900℃。透光性好,热传导性和电气绝缘性,力学机械性能表现优秀,具有耐磨和抗划伤的特点。
应用:LED(氮化镓基LED)、激光二极管(蓝光、紫外)、射频器件(5G通信、雷达)、功率电子器件(电动汽车、工业电源)。
产品规格书
蓝宝石常规C向单晶衬底(1~12英寸)
材料成分
>99.99%,High Purity, Mono-crystalline Al2O3 (KY)
直径
25.4mm
50.8mm
76.2mm
100mm
125mm
150mm
200mm
300mm
厚度
500μm
430μm
650μm
800μm
1000μm
1200μm
2000μm
端面晶向
C-plane(0001) off-angle toward M-axis(10-10) 0.2 +/- 0.1°
0 ± 0.5°
C-plane(0001) off-angle toward A-axis(11-20) 0 +/- 0.1°
定位边晶向
A-Plane(11-20) ± 1.0°
定位边长度
8mm
16mm
22mm
30mm
47.5mm
Notch
正面状态
Epi-polished,Ra<0.3nm
Epi-polished,Ra<0.5nm
反面状态
SSP:Fine-ground,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-polished,Ra<0.3nm
DSP:Epi-polished,Ra<0.5nm
镭刻码面
Back side
N/A
总厚度偏差TTV
≤5μm
≤8μm
≤10μm
≤15μm
≤20μm
≤30μm
弯曲度BOW
≤12μm
≤25μm
≤40μm
≤45μm
翘曲度WARP
≤60μm
边缘去除
≤2 mm
≤3 mm
产品性能表
蓝宝石单晶 Sapphire
晶体结构
六方晶体
禁带宽度(eV)
/
熔点(℃)
2040℃
莫氏硬度(mohs)
9
热导率(W·cm-1·℃-1)
0.46W·cm-1·℃-1
热膨胀系数(℃-1)
6.7*10-6 // C-axis5.0*10-6 ⊥C-axis
晶格常数(nm)
a=4.76Å c=12.99Å
折射率
1.762~1.777
透过率
测试样品:蓝宝石:直径76.2毫米×厚度4毫米紫外线:波长200至380纳米,透过率74%至84%可见光:波长380至760纳米,透过率85%红外线:波长760至1000纳米,透过率85%远红外线:波长大于1000纳米,透过率80%至100%