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β-氧化镓<001>

介绍氧化镓(Ga₂O₃)是一种超宽禁带(~4.8 eV)半导体材料,具有高击穿电场、透明导电性和耐高温特性。其可通过熔融生长和薄膜沉积技术制备,在功率电子和光电器件领域具有广阔应用前景。

应用:氧化镓广泛用于高功率半导体器件,如场效应晶体管(FET)和肖特基二极管(SBD),提高能源转换效率。它还可用于深紫外探测器、透明电极及高温电子器件,在航空航天和核能探测等领域具有重要价值。

产品规格书

氧化镓单晶β-Ga2O3 <001>

尺寸

5*5mm

10*10mm

2英寸-50.8mm

厚度

0.5mm

0.5mm

0.5mm

表面晶向*

<001>  ± 1.0°

掺杂元素

Sn-doping

Fe-doping

UID

电阻率

0.01~0.05 ohm.cm

>1E10 ohm.cm

0.1~1 ohm.cm

掺杂浓度

~5E18 cm-3

Insulated

<5E17 cm-3

表面状态

单抛

双抛

研磨

粗糙度

<0.5nm

<0.5nm

<5um

双晶摇摆曲线     半高宽FWHM

<150 arc sec

产品性能表

氧化镓单晶β-Ga2O3 <001>

晶体结构

单斜晶系

禁带宽度(eV)

4.8eV

熔点(℃)

1800℃

莫氏硬度(mohs)

5~6

热导率(W·cm-1·℃-1)

0.27W·cm-1·℃-1

热膨胀系数(℃-1)

αa=4.70×10-6
αb=5.45×10-6
αc=5.35×10-6

晶格常数(nm)

a=12。214Å
b=3。0371Å
c=5。7981Å

电子迁移率(cm-2·V-1·s-1

300

击穿电场(MV·cm-1)

10.3

JFM指数(power)

2844

BFM指数(SW)

3214

BHFM指数(RF)

142

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