激光切割技术是一种高精度、非接触式的加工方法,目前广泛应用于先进晶圆半导体制程。
技术原理:激光切割利用高能量激光束聚焦在半导体材料表面,通过光热效应使材料局部熔化或汽化,从而实现切割。激光的波长、功率和脉冲宽度可以根据材料特性进行调节,以达到最佳切割效果。
晶沐光电拥有自己的激光加工产线,拥有紫外/超快激光器,晶圆红外隐切裂片机,红外光纤切割机等多种设备以满足客户不同的晶圆切割需求。
技术优势:
1、高精度:激光束聚焦后光斑极小,可实现微米级切割精度。
2、非接触式:避免机械应力,减少材料损伤和污染。
3、高效率:切割平台达500*500mm,切割速度快,适合批量生产。
4、灵活性:可切割复杂形状,适应多种半导体材料。
应用场景:
依托高精度激光技术全自动智能加工系统,通过通过多脉冲调控技术,实现盲孔、通孔、锥形孔,为客户提供晶圆切割、打孔、开槽等核心工艺的一站式解决方案,目前我们的切割晶圆已成功应用于TGV玻璃通孔封装工艺、TSV硅通孔封装工艺、5G通信、功率器件、MEMS传感器,IGBT芯片,CIS图像传感器,Mini/Micro-LED晶圆芯片等。
晶圆材料种类:
1、碳化硅晶片 2、蓝宝石晶片 3、硅片 4、氧化铝陶瓷 5、石英玻璃 6、砷化镓晶片 7、磷化铟晶片 8、氮化镓晶片 9、氮化铝晶片 10、锗片 11、金刚石多晶/单晶片等等
切割产品图片:
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