蓝宝石偏角度单晶衬底（2~6英寸）

材料成分

>99.99%，High Purity， Mono-crystalline Al2O3 (KY)

晶向类型C-M

C-axis (0001) off-cut 0.5°~10°  ± 0.1° toward M (1-100)

晶向类型C-A

C-axis (0001) off-cut 0.5°~8° ± 0.1° toward A (11-20)

晶向类型A-M

A-axis (11-20) off-cut 0.5°~6° ± 0.1° toward M (1-100)

晶向类型A-C

A-axis (11-20) off-cut 0.5°~6° ± 0.1° toward C (0001)

晶向类型R-M

R-axis (1-102) off-cut 0.5°~6° ± 0.1° toward M (1-100)

晶向类型R-C

R-axis (1-102) off-cut 0.5°~6° ± 0.1° toward C (0001)

晶向类型M-C

M-axis (1-100) off-cut 0.5°~6° ± 0.1° toward C (0001)

直径

50.8mm

100mm

150mm

厚度

430um

650um

1000um

定位边晶向

A-plane ± 0.3°

定位边长度

16mm

30mm

47.5mm

正面状态

Epi-polished,Ra<0.3nm

反面状态

SSP:Fine-ground,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-polished,Ra<0.3nm

总厚度偏差TTV

<10 um

<20 um

<25 um

弯曲度BOW

-15～0 um

-25～0 um

-35～0 um

翘曲度WARP

<15 um

<30 um

<40 um

边缘去除

≤2 mm

蓝宝石单晶 Sapphire

晶体结构

六方晶体

禁带宽度(eV)

/

熔点（℃）

2040℃

莫氏硬度(mohs)

9

热导率(W·cm^-1·℃^-1)

0.46W·cm^-1·℃^-1

热膨胀系数(℃^-1)

6.7*10-6 // C-axis
5.0*10-6 ⊥C-axis

晶格常数(nm)

a=4.76Å c=12.99Å

折射率

1.762~1.777

透过率

测试样品：蓝宝石：直径76.2毫米×厚度4毫米
紫外线：波长200至380纳米，透过率74%至84%
可见光：波长380至760纳米，透过率85%
红外线：波长760至1000纳米，透过率85%
远红外线：波长大于1000纳米，透过率80%至100%