介绍：国产BF33是一种天然或合成的石英材料。
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石英玻璃晶圆基板
国产牌号
熔融石英，国产JGS1、JGS2、JGS3；高硼硅玻璃，国产BF33；长飞石英YS-1330等
进口牌号
德国肖特BF33，美国康宁7980，日本小原SK-1300等
直径
25.4mm
50.8 mm
100mm
150mm
200mm
300mm
厚度（超薄厚度）
150μm/500μm
100μm/500μm
200μm/500μm/ 725μm/1000μm
200μm/725μm/1000μm
300μm/725μm/1000μm
表面粗糙度
Double Sides Polished, Ra＜ 1.0nm
定位-平边
8mm
16mm
30mm
47.5mm
/
定位-Notch
Semi-Notch
表面光洁度
S/D 60/40, S/D 40/20
边缘去除
≤ 2mm
面型
TTV＜ 2μm
机械性能
密度ρ(25摄氏度时)
2.23 g/cm³
杨氏模量E(根据标准DIN 13316)
64kN/mm²
泊松比μ(根据标准DIN 13316)
0.2
努普硬度HK₁/20(根据标准DIN ISO 9385)
480
主要优势：重量轻、强大的耐磨性和耐刮擦性、高弹性
化学性能
耐水性能
(根据ISO 719/DIN 12 111) HGB 1
(根据ISO 720) HGA 1
耐酸性
(根据DIN 12 116) 1
(根据ISO 1776) ≤100 μgNa2O 每100cm2
耐碱性
(根据ISO 695/DIN 52 322) A 2
主要优势：高耐水性能、卓越的耐酸性、超强的耐碱性、极低的碱金属离子扩散性
热学性能
比热容cp(20-100℃)
0.83 kJ/(kg.K)
热导率λ(90℃)
1.2 W/(m ·K)
相变点温度Tg*(根据ISO 7884)
525℃
主要优势：优异的温度稳定性、卓越的耐热冲击性、可以热钢化、可以热成型(3D)
