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介绍：蓝宝石基氮化镓外延Template是一种在蓝宝石衬底上外延生长氮化镓（GaN）薄膜的技术。蓝宝石（Al₂O₃）因其高耐热性、化学稳定性和成本优势，成为GaN外延的常用衬底材料。
应用：用于制造高效蓝光、绿光和白光LED照明；蓝光激光器，如蓝光光盘和激光投影；高频、高功率电子设备，如5G通信和电动汽车；高频通信设备，如基站和雷达等
蓝宝石基氮化镓外延衬底Tempalte（2~8inch）
衬底直径
50.8mm
100mm
150mm
200mm
蓝宝石衬底厚度
430μm
650μm
1000μm
1600μm
蓝宝石衬底表面
FSS/PSS/NPSS
蓝宝石衬底晶向
C-Plane
外延导电类型
N-type
P-type
UID
外延掺杂元素
Si-doping
Mg-doping
Undoped
外延层厚度
厚膜：3~5 μm ；薄膜：0.1~1 μm
外延层厚度均匀性
≤5%
外延层表面状态
RMS＜2nm
外延结构图
