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从AFM到TEM——看清蓝宝石衬底表面的台阶-平台纳米结构
从AFM到TEM——看清蓝宝石衬底表面的台阶-平台纳米结构 "台阶-平台"到底是什么? 拿到一片抛光好的蓝宝石衬底,肉眼看是完美的镜面。但用AFM放大到纳米尺度,你会发现表面并不是绝对平整的——它由一系列平坦的"平台"(terrace)和分隔平台的"台阶"(step)
2026-11-04
蓝宝石衬底退火工艺窗口的实测数据——温度与时间
蓝宝石衬底退火工艺窗口的实测数据——温度与时间 退火是衬底预处理的关键一步 蓝宝石衬底从出厂到进入外延炉之间,通常需要经过一道高温退火处理。这道工艺的目的有三个:一是去除表面加工残留的损伤层和污染物;二是让表面原子重新排列,形成热力学稳定的低能表面;三是获得预期的台阶-平台形貌,为外延生长提供理想的
2026-11-04
切偏角(Miscut)——决定蓝宝石衬底外延起点的隐形变量
切偏角(Miscut)——决定蓝宝石衬底外延起点的隐形变量 为什么要关注切偏角? c面(0001)蓝宝石是LED、激光二极管、射频器件和氧化锌薄膜最常用的外延衬底之一。采购蓝宝石衬底时,工程师通常会确认尺寸、厚度、双面抛光还是单面抛光、晶面是否为c面——但往往会忽略一个对最终外延质量影响极大的参数:
2026-11-04
Si‑on‑SiC键合衬底:界面电荷如何影响衬底电学性能与下游器件
Si‑on‑SiC键合衬底:界面电荷如何影响衬底电学性能与下游器件 对于衬底供应商,衬底不只是“外观合格、无空洞、键合牢固”,更关键是衬底的电学性能。在前一篇中我们看到:同样是100 mm Si‑on‑SiC键合衬底,原始n型硅器件层,在2 μm厚度下测出p型电学响应;减薄到1 μm才接近n型特性。
2026-10-28
Si‑on‑SiC键合衬底:面向航天极端工况的新型异质衬底方案
Si‑on‑SiC键合衬底:面向航天极端工况的新型异质衬底方案 电力电子、航天航空、深空探测等极端应用场景,对衬底材料提出严苛要求:高导热、抗辐射、可耐受高温无冷却工作。传统SOI衬底依靠二氧化硅埋氧层实现隔离,但二氧化硅导热能力差,器件工作产生的热量难以导出,自热效应严重限制功率器件性能上限。
2026-10-28
蓝宝石图案如何改写应变:从各向异性走向各向同性
蓝宝石图案如何改写应变:从各向异性走向各向同性 对于异质外延,衬底不只是承载薄膜的载体。在r面蓝宝石这个天然带来各向异性晶格失配的体系中,衬底之上的图案构型,会直接决定外延薄膜的应变弛豫行为。本研究利用高分辨X射线衍射(HRXRD)、倒空间映射(RSM)定量解析平面模板、条纹模板、微棒模板三类蓝宝石
2026-10-23
两种图案化蓝宝石基模板比拼:条纹模板 vs 微棒阵列模板
两种图案化蓝宝石基模板比拼:条纹模板 vs 微棒阵列模板 侧向外延过度生长(ELO)是降低氮化物外延层缺陷的经典手段。本研究全部实验基于r面蓝宝石衬底,开发并对比了两种图案化模板方案:传统一维条纹模板,以及本文创新的二维棋盘式微棒阵列模板。
2026-10-23
R面蓝宝石衬底上非极性GaN,为什么这么难?
r面蓝宝石衬底上非极性GaN,为什么这么难? 随着5G移动通信的快速发展,基于III族氮化物的功率电子器件与射频(RF)器件需求显著增长。氮化镓(GaN)凭借高击穿电压、高饱和电子速度及优异的机械硬度,成为制造高功率、高频、耐高温器件的核心材料。
2026-10-23
多工艺对比:金刚石衬底晶片差异化制备技术选型指南
多工艺对比:金刚石衬底晶片差异化制备技术选型指南 一、技术概述 金刚石衬底晶片根据结构特性可分为单晶金刚石衬底、多晶金刚石衬底、金刚石薄膜三大核心品类,三类产品的晶粒结构、缺陷密度、表面粗糙度、热稳定性及界面附着力差异显著,对应完全不同的科研场景与工业应用领域。衬底晶
2026-10-09
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